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화학 약품

현상액(Developer)

  • 현상액
  • 식각액
  • 박리액
  • 세정제
제품종류 용도 특징
TMAH Base
(Tetramethylammonium hydroxide)
(DP-112, 113)
반도체 / 디스플레이 공정용
- 반도체 패키지, 포토마스크
- LED, LCD, TSP 등
- 다양한 농도 대응 가능
- TMAH 함량 정밀 제어 가능
  ex) 2.380 ± 0.003%
- ppb 단위 Metal Impurity 제어
- 0.3㎛ Particle 50ea 이하 관리
Alkaline Base
(KOH, Na2CO3 및 기타)
(APND-10, APDE-3)
반도체 / 디스플레이 공정용
- 반도체 패키지
- TSP 등
- Alkaline 함량 정밀 제어 가능
  : ± 0.01%
- ppb 단위 Metal Impurity 제어
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